青島進口真空泵石墨轉子生產廠家：

跟著真空技術在各個應用范疇的不斷擴大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多，加工安裝工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商在我國樹立專業(yè)廠。國產中小型直聯(lián)旋片泵在技術上現(xiàn)已過關，價格又遠比國外的泵便宜，所以國產泵依然有競賽優(yōu)勢，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的功能質量問題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下功能穩(wěn)定和運轉可靠，同時還要進一步進步國產直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的才能。

分子泵在國外半導體范疇里的許多工藝場合是用來替代低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等設備都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。石墨轉子屬于鋁合金熔煉配套設備中的一個部件，鋁合金熔煉過程中會產氫氣和氧化廢渣，要通過精煉除氣機將其凈化并清除去，石墨轉子是精煉除氣除渣機的不可缺少的配件之一。石墨轉子由轉子桿、噴頭兩部分組成。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。

為了進步抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜設備上應用，既進步了生產效率又改進了膜層質量。跟著我國半導體工業(yè)、薄膜產業(yè)和科學研究工作迅速發(fā)展，分子泵應該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的要點。首先，分子泵要從小到大樹立完好系列，以滿足不同場合的需求。